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Park NX-Hivac高真空原子力顯微鏡通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測量儀器，可進行大型樣品精密測量并憑借著高精準的數據準確性，在半導體和超平樣品行業中大受贊揚。

Park NX20 300mm原子力顯微鏡是業界創新型大樣品原子力顯微鏡，支持300mm×300mm全程機動化。新升級的Park NX20系統專為失效分析和質量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。盡管擴大了支持300mm樣品的機動XY工作臺，但Park的創新性振動隔離技術仍然能夠將系統噪聲保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。

Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

Park NX12原子力顯微鏡力求重新構建，以適應許多用戶設備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿足該設備中用戶的多重需求，很難合理控制設備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標準環境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學和納米光學成像，使其成為靈活的原子力顯微鏡之一。

Park NX7原子力顯微鏡 配有Park原子力顯微鏡前沿技術，其設計與新型顯微鏡一樣彰顯細節品質，可以有效助您取得精準的研究成果。